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關(guān)于貼片機技術(shù)講解
作者:博維科技 時(shí)間:2020-11-05 09:39
X-Y 與Z軸 X-Y 定位系統是評價(jià)貼片機精度的主要指標,它包括傳動(dòng)機構和伺服系統;貼片速度的提高意味著(zhù)X-Y 傳動(dòng)機構運行速度的提高而發(fā)熱,而滾珠絲桿是主要的熱源,其熱量的變化會(huì )影響貼裝精度,最新研制的X-Y 傳動(dòng)系統在導軌內設有冷卻系統;在高速機中采用無(wú)磨擦線(xiàn)性馬達和空氣軸承導軌傳動(dòng),運行速度做得更快。 小型貼片機是采用同步帶-直線(xiàn)軸承驅動(dòng),該系統運行噪聲低,工作環(huán)境好。 X-Y 伺服系統(定位控制系統) 由交流伺服電機驅動(dòng),并在傳感器及控制系統指揮下實(shí)現精確定位,因此傳感器的精度起關(guān)鍵作用。位移傳感器有園光柵編碼器、磁柵尺和光柵尺。
1.
園光柵編碼器
園光柵編碼器的轉動(dòng)部位上裝有兩片園光柵,園光柵由玻璃片或透明塑料制成,并在片上鍍有明暗相間的放射狀鉻線(xiàn),相鄰的明暗間距稱(chēng)為一個(gè)柵節,整個(gè)園周總柵節數為編碼器的線(xiàn)脈沖數。鉻線(xiàn)的多少也表示精度的高低。其中一片光柵 固定在轉動(dòng)部位作指標光柵,另一片則隨轉動(dòng)軸同眇運動(dòng)并用來(lái)計數,因此指標光柵與轉動(dòng)光柵組成一對掃描系統,相當于計數傳感器。園光柵編碼器裝在伺服電機中,它可測出轉動(dòng)件的位置、角度及角加速度,它可以將這些物理量轉換為電信號輿給控制系統。編碼器能記錄絲桿的放置數并將信息反饋給比較器,直至符合被線(xiàn)性量。該系統抗干擾性強,測量精度取決于編碼器中光柵盤(pán)上的光柵數及溢珠絲桿導軌的精度。
2.
磁柵尺
由磁柵尺和磁頭檢測電路組成,利用電磁特性和錄磁原理對位移進(jìn)行測量。磁柵尺是在非導磁性標尺基礎上采用化學(xué)涂覆或電鍍工藝在非磁性標尺上沉積一層磁性膜(一般10~20um)在磁性膜上錄制代 表一定年度具有一定波長(cháng)的方波或正弦波磁軌跡信號。磁頭在磁柵尺上移動(dòng)和讀取磁恪,并轉變成電信號輸入到控制電路,最終控制AC伺服電機的運行。磁柵尺的優(yōu)點(diǎn)是制造簡(jiǎn)單、安裝方便、穩定性高、量程范圍大,測量精度高達1~5um,貼片精度一般在0.02mm。
3.
光柵尺
由光柵尺、光柵讀數頭與檢測電路組成。光柵尺是在透明下班或金屬鏡面上真空沉積鍍膜,利用光刻技術(shù)制作均勻密集條紋(每毫米100~300 條),條紋距離相等且平等。光柵讀數頭由指示光柵、光源、透鏡及光敏器件組成,光柵尺有相同的條紋,光柵尺是根據根據物理學(xué)的莫爾條紋形成原理進(jìn)行位移測量,精度高達0.1~1um,其定位精度比磁柵尺還要高1~2 個(gè)數量級。光柵尺對環(huán)境要求比較高,特別是防塵,塵埃落在光尺上會(huì )引起貼片機故障。上述三種測量方法僅能對單軸向運動(dòng)位置的偏差進(jìn)行檢測,而對導軌的變形、彎曲等因素造成的正交或旋轉誤差卻無(wú)能為力。
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