據全球半導體觀(guān)察8月9日報道，近兩年，廈門(mén)、合肥、南京、武漢等成為國內新興集成電路城市，一時(shí)間風(fēng)頭無(wú)兩、萬(wàn)眾矚目，但在國內集成電路產(chǎn)業(yè)地圖上，上海才是最璀璨的那顆明星。
作為中國大陸三大集成電路龍頭城市之一，上海市見(jiàn)證了中國大陸第一條8英寸生產(chǎn)線(xiàn)、第一條完全由國資控股的12英寸生產(chǎn)線(xiàn)、國內第一家集成電路上市公司的誕生，在中國大陸集成電路產(chǎn)業(yè)中的地位舉足輕重。
一、發(fā)展歷程
上海市集成電路的發(fā)展歷程可追溯至60年前。
1958年10月，上海市開(kāi)始籌建上海半導體廠(chǎng)，1959年初正式成立上海半導體廠(chǎng)，成為國內最早從事半導體器件研制和生產(chǎn)的專(zhuān)業(yè)工廠(chǎng)之一，1960年更名為上海元件五廠(chǎng)，并于1965年1月試制成功硅平面小功率三極管2G200，1966年底召開(kāi)產(chǎn)品鑒定會(huì )，鑒定了一種采用國際上通用的PN結隔離技術(shù)的TTL型數字電路。
60年代~70年代間，上海市相繼建起了一批集成電路工廠(chǎng)，包括上海無(wú)線(xiàn)電十九廠(chǎng)、上海無(wú)線(xiàn)電十四廠(chǎng)、上海無(wú)線(xiàn)電七廠(chǎng)等，70年代時(shí)期上海無(wú)線(xiàn)電十九廠(chǎng)與北京八七八廠(chǎng)并稱(chēng)“南北兩霸”，上海市集成電路工業(yè)生產(chǎn)初步形成，自力更生地生產(chǎn)各種小規模集成電路。
國家改革開(kāi)放后，80年代我國集成電路從自力更生走向技術(shù)引進(jìn)、中外合資階段。
1988年上海市儀表局與上海貝爾公司合資設立上海貝嶺微電子制造有限公司,這是國內集成電路產(chǎn)業(yè)的第一家中外合資企業(yè)，建成中國大陸第一條4英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)；同一年，中荷合資成立上海飛利浦半導體公司，即后來(lái)的上海先進(jìn)半導體制造股份有限公司。
1995年電子工業(yè)部向國務(wù)院提出了《關(guān)于“九五”期間加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的報告》，國家決定實(shí)施“909工程”——在上海浦東建設一條8英寸、0.5微米技術(shù)起步、月加工2萬(wàn)片的超大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)。
1996年11月，上海華虹微電子有限公司超大規模集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)奠基儀式舉行，隨后與日本電氣公司（NEC）于1997年7月合資成立“909工程”的項目主體上海華虹NEC電子有限公司，建立起中國大陸第一條8英寸生產(chǎn)線(xiàn)、并于1999年2月正式投片。
1998年，上海貝嶺股份有限公司在國內A股上市，成為國內集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域第一家上市公司。
接下來(lái)，2000年~2010年被稱(chēng)為上海市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“黃金十年”。
2000年4月，中芯國際集成電路制造（上海）有限公司成立，接著(zhù)上海新進(jìn)半導體制造有限公司（2001年）、展訊通信有限公司（2001年）、上海宏力半導體制造有限公司（2003年）、銳迪科微電子有限公司（2004年）等紛紛成立，一時(shí)間掀起在上海掀起集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展浪潮。
2007年12月，中芯國際的12英寸生產(chǎn)線(xiàn)建成投產(chǎn)，上海進(jìn)入12英寸生產(chǎn)線(xiàn)建設時(shí)代；2008年中芯國際90納米CMOS工藝研發(fā)成功，隨后于2009年、2010年分別開(kāi)發(fā)成功65納米、55納米工藝。
2010年1月，“909工程”升級項目的建設運營(yíng)主體上海華力微電子有限公司成立，開(kāi)工建設了中國大陸第一條完全由國資控股的12英寸生產(chǎn)線(xiàn)。
在這十年間，上海市構建起相對完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條，成為全國集成電路產(chǎn)業(yè)重要聚集區。近兩年，隨著(zhù)晶圓制造相關(guān)重大項目頻頻落地，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)邁上新的發(fā)展階段。
2016年10月，中芯國際新建“12英寸集成電路先進(jìn)工藝生產(chǎn)線(xiàn)”項目啟動(dòng)，兩個(gè)月后，總投資387億元的“909工程”二次升級改造項目——由上海華力微建設運營(yíng)的“12英寸先進(jìn)工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)”也正式開(kāi)工。
二、產(chǎn)業(yè)規模與結構
上海市集成電路產(chǎn)業(yè)整體規模僅次于江蘇省，位列全國第二。
據上海市經(jīng)信委數據顯示，2016年上海市集成電路產(chǎn)業(yè)規模首次突破千億元大關(guān)，達到1053億元人民幣，同比增長(cháng)10.76%。
今年7月3日，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )發(fā)布《2018年上海集成電路產(chǎn)業(yè)白皮書(shū)》，2017年上海集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現銷(xiāo)售收入1180.62億元，同比增長(cháng)12.2%，這是繼2014年以來(lái)上海集成電路產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售規模連續4年實(shí)現兩位數增長(cháng)。
同樣來(lái)自上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )的最新數據，根據其對上海市180家集成電路主要企業(yè)的跟蹤統計，2018年上半年上海集成電路產(chǎn)業(yè)銷(xiāo)售收入合計519.47億元，同比增長(cháng)5%。
產(chǎn)業(yè)結構方面，上海市已形成了集設計、制造、封測、材料、裝備及其他配套、服務(wù)于一體的完整集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，是國內集成電路產(chǎn)業(yè)鏈相對最為完整、產(chǎn)業(yè)結構最均衡的城市。
近年來(lái)，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)結構更趨優(yōu)化合理，由曾經(jīng)以封測業(yè)為主導轉向以設計業(yè)和制造業(yè)為主導的產(chǎn)業(yè)結構，同時(shí)裝備材料業(yè)也正在高速發(fā)展，基本形成設計、制造、裝備材料“三足鼎立”之勢。
設計業(yè)
自2011年開(kāi)始，上海市集成電路設計業(yè)營(yíng)收呈現逐年攀升，2016年設計業(yè)營(yíng)收首次超過(guò)封測業(yè)，成為上海市集成電路產(chǎn)業(yè)龍頭環(huán)節。
據《2018年上海集成電路產(chǎn)業(yè)白皮書(shū)》數據，2017年上海集成電路設計業(yè)銷(xiāo)售額達437億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重為37.1%，而上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )的最新數據顯示，2018年上半年上海市集成電路設計業(yè)銷(xiāo)售收入為175.2億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重33.73%
上海市經(jīng)信委表示，2017年上海市集成電路設計企業(yè)共239家，相比2016年增加24家，其中銷(xiāo)售收入過(guò)億元的共有50家，超10億元的共8家。
在中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )發(fā)布的2017年中國集成電路設計十大企業(yè)名單中，上海市共有3家企業(yè)入列，僅次于全國設計業(yè)龍頭深圳，其中紫光展銳排名第2、華大半導體排名第4、格科微排名第9。
從技術(shù)水平上看，上海市邏輯電路主流設計技術(shù)為40-28-16/14nm，先進(jìn)設計技術(shù)已進(jìn)入10nm、7nm設計技術(shù)正在研發(fā)；數?；旌想娐?、模擬電路等設計技術(shù)在國內均處于領(lǐng)先行列。
如紫光展銳2017年推出14nm8核64位LTESoC智能手機芯片，在5G領(lǐng)域亦率先完成了5G原型機開(kāi)發(fā)，其5G芯片目前進(jìn)展順利，預計將于2019年實(shí)現商用，基本與國際水平保持同步。
再如上海兆芯，其是國內唯一同時(shí)掌握CPU、GPU、Chipset三大技術(shù)的國產(chǎn)CPU公司，搭載兆芯國產(chǎn)通用CPU的電腦整機已入圍多個(gè)省市的政府采購項目。
2、制造業(yè)
在制造業(yè)方面，上海市可謂見(jiàn)證了我國集成電路制造業(yè)的一步步艱難突破，在全國具有絕對優(yōu)勢。
上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)蔣守雷在接受媒體采訪(fǎng)時(shí)表示，2017年上海市集成電路制造業(yè)銷(xiāo)售額達280億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重約24%。而該協(xié)會(huì )的最新數據顯示，2018年上半年上海市集成電路制造業(yè)銷(xiāo)售額達143.14億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重27.55%，已超越封測業(yè)。
上海市聚集了包括中芯國際、華虹宏力、先進(jìn)半導體、華力微電子等一系列國內集成電路核心制造企業(yè)，據全球半導體觀(guān)察此前統計，包括正在興建中的晶圓廠(chǎng)，在中國現有的35座主流晶圓廠(chǎng)中，上海就占據了11座，包括4座12英寸廠(chǎng)、7座8英寸廠(chǎng)。
其中，12英寸晶圓廠(chǎng)集中在中芯國際和華力微，這兩家企業(yè)現有12英寸晶圓廠(chǎng)各一座、在建12英寸晶圓廠(chǎng)各一座，8英寸晶圓廠(chǎng)則集中于中芯國際、華虹宏力、臺積電、先進(jìn)半導體等幾家企業(yè)。
中芯國際是我國目前第一大晶圓代工廠(chǎng)，代表著(zhù)中國大陸集成電路制造業(yè)最先進(jìn)水平，目前中芯國際已量產(chǎn)28nm制程，14nm制程工藝預計于2019年量產(chǎn)，同時(shí)中芯國際還在同步開(kāi)展10nm和7nm制程工藝技術(shù)研發(fā)。
目前，中芯國際新建的“12英寸集成電路先進(jìn)工藝生產(chǎn)線(xiàn)”項目及上海華力微的“12英寸先進(jìn)工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)”正在緊鑼密鼓建設中，這兩大項目將為上海市集成電路制造業(yè)再添輝煌。
制造業(yè)是整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展中樞，對上服務(wù)生產(chǎn)設計企業(yè)，對下帶動(dòng)原材料和設備企業(yè)，上海市集成電路在制造業(yè)領(lǐng)域的優(yōu)勢將進(jìn)一步帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)，助力形成良好產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
3、封測業(yè)
上海市集成電路封測業(yè)從規模上看并不小，但其占產(chǎn)業(yè)鏈比重正在逐漸降低。
上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )數據顯示，2018年上半年上海市封測業(yè)的銷(xiāo)售收入為131.53億元，低于設計業(yè)和制造業(yè)，占產(chǎn)業(yè)鏈比重為25.32%。
上海市的封測企業(yè)有上海凱虹、晟碟半導體、安靠、星科金朋、松下半導體、日月光等，其中大多為外商投資及國際知名IDM或封測企業(yè)的子公司，因此在封測技術(shù)發(fā)展方面發(fā)言權相對較弱。
4、設備材料業(yè)
在設備材料領(lǐng)域，上海市同樣在我國集成電路產(chǎn)業(yè)寫(xiě)下重要篇章。
《2018年上海集成電路產(chǎn)業(yè)白皮書(shū)》顯示，2017年上海集成電路產(chǎn)業(yè)設備材料業(yè)也利潤增幅高達95.7%，其中設備業(yè)2017年實(shí)現銷(xiāo)售收入82.68億元，同比增長(cháng)111.9%。
白皮書(shū)指出，上海設備材料制造業(yè)已經(jīng)走出初創(chuàng )階段的發(fā)展路程，成功進(jìn)入到“產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)，市場(chǎng)引領(lǐng)企業(yè)；研發(fā)帶動(dòng)創(chuàng )新，創(chuàng )新推進(jìn)發(fā)展”的雙邊發(fā)展新階段。
上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )的最新數據，2018年上半年上海市集成電路設備材料業(yè)的銷(xiāo)售收入為69.6億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重為13.40%。
雖然營(yíng)收和占比均不及其他三業(yè)，但上海市設備材料業(yè)在國內的影響力可不小海市擁有中微半導體、上海微電子裝備、盛美半導體、上海凱世通等國內知名設備廠(chǎng)商，以及上海新陽(yáng)、上海新昇、上海安集微電子、上海新傲科技等一眾材料企業(yè)。
其中，中微半導體是國內技術(shù)最領(lǐng)先的集成電路設備企業(yè)之一，主要深耕刻蝕機領(lǐng)域，研制出中國大陸第一臺電介質(zhì)刻蝕機，目前中微半導體的介質(zhì)刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進(jìn)入海內外重要客戶(hù)供應體系，如其介質(zhì)刻蝕設備已打入臺積電的7nm、10nm量產(chǎn)線(xiàn)，成功打破了國際巨頭的壟斷。
目前中微半導體刻蝕設備零部件國產(chǎn)化率已超過(guò)35%，已開(kāi)發(fā)了20多個(gè)國內的反應器和系統主機加工等供應廠(chǎng)商，加工能力和質(zhì)量達到了國際先進(jìn)水平，截至2017年底，已有620多個(gè)中微半導體生產(chǎn)的刻蝕反應臺運行在海內外39條先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)上。
再如上海微電子裝備，同樣是國內不可忽視的集成電路設備廠(chǎng)商。上海微電子裝備是國內少數光刻機生產(chǎn)商之一，其生產(chǎn)的光刻機包括晶圓制造、IC封裝、面板、LED等，其中封裝光刻機在國內市場(chǎng)已占據不小的份額，是國內技術(shù)最先進(jìn)的光刻機研制生產(chǎn)單位。
上海微電子裝備“十五”期間承擔了國家863重大科技專(zhuān)項任務(wù)掃描投影光刻機的研制任務(wù)，“十一五”和“十二五”期間被國家確定為02專(zhuān)項高端掃描投影光刻機研制和先進(jìn)封裝光刻機產(chǎn)業(yè)化的承擔單位，其首臺先進(jìn)封裝光刻機于2009年實(shí)現銷(xiāo)售，上海微電子目前可生產(chǎn)加工90nm工藝制程芯片的光刻機，這是目前國產(chǎn)光刻機最高水平。
目前，上海微電子裝備正在承擔國家科技重大專(zhuān)項02專(zhuān)項在“十三五”期間的標志性項目“28nm節點(diǎn)浸沒(méi)式分步重復投影光刻機研發(fā)成功并實(shí)現產(chǎn)業(yè)化”等。
材料領(lǐng)域，上海新昇是國內首個(gè)300mm大硅片項目的承擔主體，目前其正片已通過(guò)了華力微電子的認證并實(shí)現每月2000片的銷(xiāo)售，項目計劃總產(chǎn)能為60萬(wàn)片每月，預計今年年底將達月產(chǎn)能10萬(wàn)片。
相信業(yè)內人士均有所了解，我國在300mm大硅片領(lǐng)域基本空白、完全依賴(lài)進(jìn)口，上海新昇作為300mm大硅片國產(chǎn)化的排頭兵，該項目的建設及量產(chǎn)出售等均對于國內集成電路材料業(yè)具有較大意義。
三、人才建設體系
作為我國較早發(fā)展且產(chǎn)業(yè)鏈最完整的集成電路城市，上海已建立了較為完整的集成電路人才教育及培訓體系。
上海市擁有復旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、同濟大學(xué)、華東師范大學(xué)、上海大學(xué)等一眾高等院校，其中復旦大學(xué)微電子學(xué)院是首批國家集成電路人才培養基地之一、國家集成電路人才國際培訓（上海）基地，具有豐富的集成電路人才培養經(jīng)驗和雄厚的產(chǎn)學(xué)聯(lián)合基礎；
上海交通大學(xué)微電子學(xué)院同樣是首批國家集成電路人才培養基地之一，承擔了國家科技重大專(zhuān)項、國防重點(diǎn)、科技863重點(diǎn)項目等多個(gè)科研項目，形成了以系統級芯片設計、模擬與射頻芯片設計為主的兩個(gè)重點(diǎn)學(xué)科方向；
其他多個(gè)高等院校也設有集成電路相關(guān)專(zhuān)業(yè)及研究方向，如同濟大學(xué)有電子科學(xué)與技術(shù)系、超大規模集成電路研究所、微電子中心等院系與部門(mén)；華東師范大學(xué)有電子工程系，集中研究集成電路設計、新型半導體器件與材料和微電子機械系統（MEMS）；上海大學(xué)設有微電子研究與開(kāi)發(fā)中心，專(zhuān)門(mén)研究與開(kāi)發(fā)大規模集成電路設計、培養微電子學(xué)與固體電子學(xué)方向的碩士、博士人才等。
除了高等院校外，上海市還擁有上海集成電路研發(fā)中心、上海硅知識產(chǎn)權交易中心、上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )、上海集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)促進(jìn)中心、上海集成電路測試專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù)平臺等公共服務(wù)機構。
這些公共服務(wù)平臺在積極推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)人才培訓的同時(shí)，也與國內外知名院?；蚱髽I(yè)合作建設人才培訓機構。
如上海集成電路研發(fā)中心與國際光刻機巨頭ASML在上海合作共建國內第一個(gè)世界級光刻人才培訓基地，今年5月已正式揭牌。上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )也聯(lián)手華虹集團、上海硅知識產(chǎn)權交易中心，共同建設上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )高技能人才培養基地……
四、政策與基金
上海市集成電路產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展，離不開(kāi)政府的政策推動(dòng)及基金支持。
2000年，上海市政府發(fā)布《關(guān)于本市鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策規定》，政策通過(guò)稅收優(yōu)惠、補貼獎勵等多種方式鼓勵發(fā)展軟件及集成電路。
隨后2012年，上海市政府印發(fā)《關(guān)于本市進(jìn)一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，隨后浦東新區人民政府也發(fā)布了《進(jìn)一步鼓勵產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，進(jìn)一步擴大產(chǎn)業(yè)政策的優(yōu)惠范圍和獎勵力度。
2017年，上海市政府再次發(fā)布《關(guān)于本市進(jìn)一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，這是在2012年發(fā)布的政策基礎上，進(jìn)一步聚焦支持上海集成電路領(lǐng)域重大項目建設、自主創(chuàng )新技術(shù)研發(fā)、企業(yè)培育和專(zhuān)業(yè)人才培養及引進(jìn)等方面。
上海市政府還編制并發(fā)布了《軟件和集成電路專(zhuān)項資金管理》、《上海集成電路工程產(chǎn)品首輪流片專(zhuān)項獎勵實(shí)施細則》等相關(guān)配套實(shí)施細則。
在相關(guān)政策接踵出臺的同時(shí)，2016年年底上海集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立，基金總規模500億元，分為100億元的裝備材料基金、100億元的設計基金、300億元的制造基金。
2017年7月，繼100億設計業(yè)并購基金和300億制造業(yè)基金之后 ，總規模100億元的上海集成電路裝備材料基金正式簽約，這標志著(zhù)上海500億元集成電路產(chǎn)業(yè)基金工作已全面啟動(dòng)。
五、小結
整體上看，相較于江蘇省的封測先行、深圳的設計為優(yōu)，上海更注重謀求產(chǎn)業(yè)結構的完整均衡，就國內各大城市而言，上海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈最為完備，產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節均有所亮點(diǎn)，且無(wú)明顯短板，這樣的均衡發(fā)展助力產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節間的協(xié)同聯(lián)動(dòng)，形成較好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
如今全國范圍內掀起集成電路發(fā)展熱潮，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)十年輝煌及近年來(lái)的穩定發(fā)展期后，未來(lái)的3~5年或將迎來(lái)重大發(fā)展機遇和轉型，有望朝著(zhù)更大規模、更具創(chuàng )新性、更具引領(lǐng)作用等方向突破。
根據《上海促進(jìn)電子信息制造業(yè)發(fā)展“十三五”規劃》，上海市的目標是力爭2020年集成電路產(chǎn)業(yè)規模達到2000億元，將通過(guò)提升產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰略，塑造設計、制造、裝備材料三大支柱，拓展產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式，打造IDM模式的產(chǎn)業(yè)第三極等發(fā)展手段，推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
